1. Тоосгүй цэвэр өрөөнд тоосны тоосонцорыг зайлуулах
Цэвэр өрөөний гол үүрэг нь бүтээгдэхүүнд (цахиурын чипс гэх мэт) өртөж буй агаар мандлын цэвэр байдал, температур, чийгшлийг хянах бөгөөд ингэснээр бүтээгдэхүүнийг сайн орчинд үйлдвэрлэж, үйлдвэрлэх боломжтой болно. Бид энэ газрыг цэвэр өрөө гэж нэрлэдэг. Олон улсын практикт цэвэр байдлын түвшинг голчлон ангиллын стандартаас их диаметртэй нэг шоо метр агаарын тоосонцороор тодорхойлдог. Өөрөөр хэлбэл, тоосгүй гэж нэрлэгддэг зүйл нь 100% тоосгүй, харин маш жижиг нэгжээр удирддаг. Мэдээжийн хэрэг, энэ стандартын тоосны стандартад нийцсэн тоосонцор нь бидний харж буй энгийн тоостой харьцуулахад маш бага боловч оптик байгууламжийн хувьд бага зэрэг тоос ч гэсэн маш их сөрөг нөлөө үзүүлэх тул тоосгүй байх нь оптик бүтэцтэй бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх зайлшгүй шаардлага юм.
Нэг шоо метр тутамд 0.5 мкм-ээс их буюу тэнцүү хэмжээтэй тоосны тоосонцорыг 3520/куб-аас бага тоосонцорыг хянах нь олон улсын тоосгүй стандартын А зэрэглэлд хүрнэ. Чипийн түвшний үйлдвэрлэл, боловсруулалтад хэрэглэгддэг тоосгүй стандарт нь А ангиллынхаас илүү тоосонд тавигдах шаардлага тавьдаг бөгөөд ийм өндөр стандартыг голчлон зарим дээд түвшний чипс үйлдвэрлэхэд ашигладаг. Тоосны тоосонцрын тоог нэг шоо метр тутамд 35,200 тоосонцор хатуу хянадаг бөгөөд энэ нь цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлд ихэвчлэн В ангилал гэж нэрлэгддэг.
2. Цэвэр өрөөний гурван төрлийн төлөв
Хоосон цэвэр өрөө: баригдсан, ашиглалтад оруулах боломжтой цэвэрхэн өрөөний байгууламж. Энэ нь холбогдох бүх үйлчилгээ, функцтэй. Гэвч тус байгууламжид операторуудын ажиллуулдаг тоног төхөөрөмж байхгүй.
Статик цэвэр өрөө: Тохиргооны дагуу ашиглах боломжтой, эсвэл ашиглаж байгаа боловч тухайн байгууламжид оператор байхгүй, бүрэн ажиллагаатай, зөв тохируулга, суурилуулалт бүхий цэвэрхэн өрөөний байгууламж.
Динамик цэвэр өрөө: ердийн ашиглалтын цэвэрхэн өрөө, бүрэн үйлчилгээний чиг үүрэг, тоног төхөөрөмж, боловсон хүчинтэй; шаардлагатай бол хэвийн ажил хийж болно.
3. Хяналтын зүйлс
(1). Агаарт хөвж буй тоосны тоосонцорыг арилгаж чадна.
(2). Тоос тоосонцор үүсэхээс сэргийлж чадна.
(3). Температур, чийгшлийн хяналт.
(4). Даралтын зохицуулалт.
(5). Хортой хийг арилгах.
(6). Бүтэц ба тасалгааны агаар нэвтрэхгүй байх.
(7). Статик цахилгаанаас урьдчилан сэргийлэх.
(8). Цахилгаан соронзон хөндлөнгийн оролцооноос урьдчилан сэргийлэх.
(9). Аюулгүй байдлын хүчин зүйлсийг харгалзан үзэх.
(10). Эрчим хүч хэмнэх асуудлыг авч үзэх.
4. Ангилал
Турбулент урсгалын төрөл
Агаарыг агааржуулагчийн хайрцгаас агааржуулалтын суваг, агаар шүүгч (HEPA) -аар дамжуулан цэвэр өрөөнд орж, цэвэр өрөөний хоёр талын хананы хананы хавтан эсвэл өндөр шалнаас буцаана. Агаарын урсгал нь шугаман байдлаар хөдөлдөггүй, харин тогтворгүй үймээн самуун эсвэл эргүүлэг үүсгэдэг. Энэ төрөл нь 1,000-100,000 ангиллын цэвэрхэн өрөөнд тохиромжтой.
Тодорхойлолт: Агаарын урсгал жигд бус хурдтай урсдаг, зэрэгцээ биш, буцах урсгал эсвэл эргүүлэг гүйдэл дагалддаг цэвэр өрөө.
Зарчим: Турбулент цэвэр өрөөнүүд нь агаарын хангамжийн агаарын урсгалд тулгуурладаг бөгөөд доторх агаарыг тасралтгүй шингэлж, бохирдсон агаарыг аажмаар шингэлж, цэвэр байдалд хүрдэг (булингартай цэвэр өрөөнүүд нь ерөнхийдөө 1,000-аас 300,000-аас дээш цэвэршилттэй байдаг).
Онцлогууд: Тогтвортой цэвэрхэн өрөөнүүд нь цэвэр, цэвэр байдлын түвшинд хүрэхийн тулд олон тооны агааржуулалтанд тулгуурладаг. Агааржуулалтын өөрчлөлтийн тоо нь тодорхойлолт дахь цэвэршүүлэх түвшинг тодорхойлдог (агааржуулалт илүү их өөрчлөгдөх тусам цэвэр байдлын түвшин өндөр болно)
(1) Өөрийгөө цэвэршүүлэх хугацаа: цэвэр өрөө нь төлөвлөгдсөн агааржуулалтын дугаарын дагуу цэвэр өрөөнд агаарыг нийлүүлж эхлэх ба өрөөнд байгаа тоосны агууламж 1000 ангиллын цэвэр байдлын төлөвлөсөн хэмжээнд хүрэх хугацааг хэлнэ. 100,000 нь 40 минутаас хэтрэхгүй байх төлөвтэй байна (30 минутыг тооцоолоход ашиглаж болно)
(2) Агааржуулалтын давтамж (өөрийгөө цэвэрлэх хугацаа дээрх шаардлагын дагуу хийгдсэн) анги 1000: 43.5-55.3 удаа/цаг (стандарт: 50 удаа/цаг) анги 10,000: 23.8-28.6 удаа/цаг (стандарт: 25 удаа/цаг) анги 100-14.0 цаг, (стандарт: 15 удаа/цаг)
Давуу талууд: энгийн бүтэцтэй, системийн барилгын өртөг багатай, цэвэрхэн өрөөг өргөтгөхөд хялбар, зарим тусгай зориулалтын газар, тоосгүй цэвэр вандан сандал ашиглан цэвэр өрөөний зэрэглэлийг сайжруулж болно.
Сул тал: үймээн самуунаас үүссэн тоосны тоосонцор нь дотоод орон зайд хөвж, гадагшлуулахад хэцүү тул технологийн бүтээгдэхүүнийг амархан бохирдуулдаг. Үүнээс гадна, хэрэв системийг зогсоож, дараа нь идэвхжүүлсэн бол шаардлагатай цэвэр байдалд хүрэхийн тулд ихэвчлэн удаан хугацаа шаардагддаг.
Ламинар урсгал
Ламинар урсгал нь жигд шулуун шугамаар хөдөлдөг. Агаарыг 100% бүрхэх шүүлтүүрээр дамжуулан өрөөнд орж, өндөр шал эсвэл хоёр талдаа тусгаарлах хавтангаар буцааж өгдөг. Энэ төрөл нь ерөнхийдөө 1-100 ангиллын цэвэр өрөөний өндөр зэрэглэл бүхий цэвэр өрөөнд ашиглахад тохиромжтой. Хоёр төрөл байдаг:
(1) Хэвтээ ламинар урсгал: Хэвтээ агаарыг шүүлтүүрээс нэг чиглэлд үлээж, эсрэг талын ханан дээрх буцах агаарын системээр буцаана. Тоосыг гадаа агаарын чиглэлийн дагуу гадагшлуулдаг. Ерөнхийдөө бохирдол нь доод талдаа илүү ноцтой байдаг.
Давуу тал: Энгийн бүтэцтэй, ашиглалтын дараа богино хугацаанд тогтворжих боломжтой.
Сул тал: Барилга угсралтын зардал нь турбулент урсгалаас өндөр, дотоод орон зайг тэлэх нь тийм ч хялбар биш юм.
(2) Босоо ламинар урсгал: Өрөөний таазыг бүхэлд нь ULPA шүүлтүүрээр бүрхэж, дээрээс нь доошоо агаарыг үлээлгэснээр илүү өндөр цэвэршилттэй болно. Процессын явцад эсвэл ажилтнуудаас үүссэн тоосыг бусад ажлын хэсэгт нөлөөлөхгүйгээр гадаа хурдан гадагшлуулна.
Давуу талууд: Удирдахад хялбар, үйл ажиллагаа эхэлснээс хойш богино хугацаанд тогтвортой байдалд хүрэх боломжтой бөгөөд үйл ажиллагааны төлөв эсвэл операторын нөлөөнд амархан өртөхгүй.
Сул тал: Барилгын өртөг өндөр, зай талбайг уян хатан ашиглахад хүндрэлтэй, таазны гогцоо нь маш их зай эзэлдэг, шүүлтүүрийг засах, солиход хүндрэлтэй байдаг.
Нийлмэл төрөл
Нийлмэл төрөл нь турбулент урсгалын төрөл ба ламинар урсгалын төрлийг хослуулах эсвэл ашиглах явдал бөгөөд энэ нь орон нутгийн хэт цэвэр агаарыг хангах боломжтой.
(1) Цэвэр туннель: HEPA эсвэл ULPA шүүлтүүрийг ашиглан процессын талбай эсвэл ажлын талбайг 100% бүрхэж, цэвэр байдлын түвшинг 10-р ангиас дээш болгож, суурилуулалт, ашиглалтын зардлыг хэмнэх боломжтой.
Энэ төрөл нь машины засвар үйлчилгээний явцад ажил, чанарт нөлөөлөхгүйн тулд операторын ажлын талбайг бүтээгдэхүүн, машины засвар үйлчилгээнээс тусгаарлахыг шаарддаг.
Цэвэр хонгил нь өөр хоёр давуу талтай: A. Уян хатан тэлэх хялбар; B. Тоног төхөөрөмжийн засвар үйлчилгээг засвар үйлчилгээний талбайд хялбархан гүйцэтгэх боломжтой.
(2) Цэвэр хоолой: Бүтээгдэхүүний урсгал дамждаг автомат үйлдвэрлэлийн шугамыг хүрээлж, цэвэршүүлж, цэвэр байдлын түвшинг 100-аас дээш зэрэглэлд хүргэнэ. Бүтээгдэхүүн, оператор болон тоос үүсгэгч орчин нь бие биенээсээ тусгаарлагдсан тул бага хэмжээний агаарын хангамж нь сайн цэвэр байдалд хүрч, эрчим хүч хэмнэх бөгөөд гар ажиллагаа шаарддаггүй автомат үйлдвэрлэлийн шугамд хамгийн тохиромжтой. Энэ нь эм, хүнсний болон хагас дамжуулагчийн үйлдвэрүүдэд хамаарна.
(3) Цэвэр цэг: 10,000~100,000-ийн цэвэр өрөөний түвшинтэй үймээн самуунтай цэвэр өрөөнд байгаа бүтээгдэхүүний процессын талбайн цэвэр байдлын түвшинг үйлдвэрлэлийн зориулалтаар 10~1000 ба түүнээс дээш болгож нэмэгдүүлсэн; цэвэр ажлын ширээ, цэвэрхэн саравч, угсармал цэвэр өрөө, цэвэр хувцасны шүүгээ зэрэг нь энэ ангилалд хамаарна.
Цэвэр вандан сандал: 1-100 анги.
Цэвэр лангуу: Бие даасан HEPA эсвэл ULPA болон агааржуулалтын төхөөрөмжүүдийг ашиглан 10~1000 түвшинтэй, 2.5 метр өндөртэй, 10м2 ба түүнээс бага хамрах талбайтай, цэвэрхэн өрөөнд, статикийн эсрэг тунгалаг хуванцар даавуугаар хүрээлэгдсэн жижиг талбай. Дөрвөн баганатай, уян хатан ашиглах зориулалттай хөдлөх дугуйгаар тоноглогдсон.
5. Агаарын урсгалын урсгал
Агаарын урсгалын ач холбогдол
Цэвэр өрөөний цэвэр байдал нь ихэвчлэн агаарын урсгалд нөлөөлдөг. Өөрөөр хэлбэл, хүн, машины тасалгаа, барилгын хийц зэрэгт үүссэн тоосны хөдөлгөөн, тархалтыг агаарын урсгалаар удирддаг.
Цэвэрхэн өрөөнд HEPA болон ULPA ашиглан агаар шүүдэг ба тоос цуглуулах хурд нь 99.97~99.99995% байдаг тул энэхүү шүүлтүүрээр шүүсэн агаар маш цэвэрхэн гэж хэлж болно. Гэхдээ цэвэрхэн өрөөнд хүмүүсээс гадна машин зэрэг тоосны эх үүсвэрүүд байдаг. Эдгээр үүссэн тоос нь тархсаны дараа цэвэр орон зайг хадгалах боломжгүй тул үүссэн тоосыг гадаа хурдан гадагшлуулахын тулд агаарын урсгалыг ашиглах шаардлагатай.
Нөлөөлөх хүчин зүйлүүд
Технологийн тоног төхөөрөмж, боловсон хүчин, цэвэр өрөөний угсралтын материал, гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл гэх мэт цэвэр өрөөний агаарын урсгалд нөлөөлдөг олон хүчин зүйл байдаг.Үүний зэрэгцээ үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж дээрх агаарын урсгалын гольдролыг өөрчлөх цэгийг мөн анхаарч үзэх хэрэгтэй.
Мэс заслын ерөнхий ширээ эсвэл үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн гадаргуу дээрх агаарын урсгалыг өөрчлөх цэгийг цэвэр өрөөний зай ба хуваах хавтангийн хоорондох зайны 2/3-т тохируулна. Ийм байдлаар оператор ажиллаж байх үед агаарын урсгал нь технологийн талбайн дотроос үйл ажиллагааны хэсэг рүү урсаж, тоосыг зайлуулах боломжтой; Хэрэв эргэлтийн цэгийг технологийн талбайн өмнө тохируулсан бол энэ нь агаарын урсгалыг буруу өөрчлөх болно. Энэ үед агаарын урсгалын ихэнх хэсэг нь технологийн талбайн ар тал руу урсаж, операторын үйл ажиллагааны улмаас үүссэн тоос нь тоног төхөөрөмжийн ар тал руу зөөгдөж, ажлын ширээ бохирдож, гарц буурах нь гарцаагүй.
Цэвэрхэн өрөөнүүдийн ажлын ширээ гэх мэт саад тотгорууд нь уулзвар дээр эргэлдэх урсгалтай байх ба тэдгээрийн ойролцоох цэвэр байдал харьцангуй муу байх болно. Ажлын ширээн дээр буцах агаарын цооног өрөмдөх нь эргэлтийн гүйдлийн үзэгдлийг багасгах болно; Угсрах материалын сонголт зөв эсэх, тоног төхөөрөмжийн зохион байгуулалт төгс эсэх зэрэг нь агаарын урсгалыг эргүүлэх гүйдлийн үзэгдэл болох эсэхэд чухал хүчин зүйл болдог.
6. Цэвэр өрөөний найрлага
Цэвэр өрөөний найрлага нь дараахь системүүдээс бүрдэнэ (тэдгээрийн аль нь ч системийн молекулуудад зайлшгүй шаардлагатай биш), эс тэгвээс бүрэн, өндөр чанартай цэвэр өрөөг бүрдүүлэх боломжгүй болно.
(1) Таазны систем: таазны бариул, I-цацраг эсвэл U-цацраг, таазны тор эсвэл таазны хүрээ орно.
(2) Агааржуулагчийн систем: агаарын кабин, шүүлтүүрийн систем, салхин тээрэм гэх мэт.
(3) Хуваалтын хана: цонх, хаалга зэрэг.
(4) Шал: өндөр шал эсвэл антистатик шалыг оруулаад.
(5) Гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл: LED цэвэршүүлэх хавтгай чийдэн.
Цэвэр өрөөний үндсэн бүтэц нь ерөнхийдөө ган баар эсвэл ясны цементээр хийгдсэн байдаг боловч ямар ч бүтэцтэй байсан дараах нөхцлийг хангасан байх ёстой.
A. Температурын өөрчлөлт, чичиргээний улмаас ан цав үүсэхгүй;
B. Тоос тоосонцор үүсгэх нь амаргүй, тоосонцор бэхлэхэд хэцүү;
C. Гигроскопи бага;
D. Цэвэр өрөөнд чийгшлийн нөхцлийг хадгалахын тулд дулаан тусгаарлалт өндөр байх ёстой;
7. Ашиглалтаар нь ангилах
Үйлдвэрийн цэвэрхэн өрөө
Амьгүй бөөмсийг хянах нь объект юм. Энэ нь голчлон агаарын тоосны тоосонцорыг ажлын объект руу бохирдуулахыг хянадаг бөгөөд дотоод засал нь ерөнхийдөө эерэг даралтын төлөвийг хадгалдаг. Энэ нь нарийн машин, электроникийн үйлдвэр (хагас дамжуулагч, нэгдсэн хэлхээ гэх мэт), сансар огторгуйн үйлдвэрлэл, өндөр цэвэршилттэй химийн үйлдвэр, атомын энергийн үйлдвэр, оптик болон соронзон бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэл (CD, кино, соронзон хальсны үйлдвэрлэл) LCD (шингэн болор шил), компьютерийн хатуу диск, компьютерийн толгой үйлдвэрлэл болон бусад салбарт тохиромжтой.
Биологийн цэвэр өрөө
Ажлын объект руу амьд тоосонцор (бактери) болон амьгүй тоосонцор (тоос) бохирдлыг голчлон хянадаг. Үүнийг хувааж болно;
A. Ерөнхий биологийн цэвэр өрөө: голчлон бичил биетний (бактерийн) объектын бохирдлыг хянадаг. Үүний зэрэгцээ түүний дотоод материалууд нь янз бүрийн ариутгах бодисын элэгдэлд тэсвэртэй байх ёстой бөгөөд дотоод засал нь ерөнхийдөө эерэг даралтыг баталгаажуулдаг. Үндсэндээ дотоод материал нь үйлдвэрлэлийн цэвэр өрөөнд янз бүрийн ариутгах эмчилгээг тэсвэрлэх чадвартай байх ёстой. Жишээ нь: эмийн үйлдвэр, эмнэлэг (хагалгааны өрөө, ариутгалын тасаг), хоол хүнс, гоо сайхан, ундааны бүтээгдэхүүн үйлдвэрлэх, амьтны лаборатори, физик, химийн шинжилгээний лаборатори, цусны станц гэх мэт.
B. Биологийн аюулгүй байдал цэвэр өрөө: голчлон ажиллаж байгаа объектын амьд тоосонцорыг гадаад ертөнц болон хүмүүст бохирдуулахыг хянадаг. Дотоод даралт нь агаар мандалд сөрөг байх ёстой. Жишээ нь: бактериологи, биологи, цэвэр лаборатори, физик инженерчлэл (рекомбинант ген, вакцин бэлтгэх)
Шуудангийн цаг: 2025-02-07