Бөөмсийн хатуу хяналтаас гадна чип үйлдвэрлэлийн цех, нэгдсэн хэлхээний тоосгүй цех, диск үйлдвэрлэлийн цехүүдээр төлөөлүүлсэн электрон цэвэр өрөө нь температур, чийгшлийн хяналт, гэрэлтүүлэг, бичил цочролын илүү хатуу шаардлага тавьдаг. Үйлдвэрлэлийн бүтээгдэхүүнд статик цахилгааны нөлөөллийг хатуу арилгаж, хүрээлэн буй орчин нь электрон бүтээгдэхүүний үйлдвэрлэлийн процессын шаардлагыг цэвэр орчинд хангаж чадна.
Цахим цэвэр өрөөний температур, чийгшлийг үйлдвэрлэлийн процессын шаардлагын дагуу тодорхойлох ёстой. Үйлдвэрлэлийн процесст тодорхой шаардлага байхгүй үед температур 20-26°C, харьцангуй чийгшил 30%-70% байж болно. Ажилтнуудын цэвэр өрөө болон зочны өрөөний температур 16-28℃ байж болно. Олон улсын ISO стандартад нийцсэн Хятадын үндэсний GB-50073 стандартын дагуу энэ төрлийн цэвэр өрөөний цэвэр байдлын түвшин 1-9 байна. Үүнд 1-5 ангилалд агаарын урсгалын хэв маяг нь нэг чиглэлтэй урсгал эсвэл холимог урсгал; 6 ангиллын агаарын урсгалын хэв маяг нь нэг чиглэлгүй урсгал бөгөөд агаарын солилцоо 50-60 удаа/цаг; 7 ангиллын агаарын урсгалын төрөл нь нэг чиглэлгүй урсгал бөгөөд агаарын солилцоо 15-25 удаа/цаг; 8-9 ангиллын агаарын урсгалын төрөл нь нэг чиглэлгүй урсгал бөгөөд агаарын солилцоо 10-15 удаа/цаг байна.
Одоогийн техникийн үзүүлэлтүүдийн дагуу 10,000 ангиллын электрон цэвэр өрөөний дуу чимээний түвшин 65dB(A)-аас хэтрэхгүй байх ёстой.
1. Цахим цэвэр өрөөнд босоо урсгалын цэвэр өрөөний бүрэн харьцаа 60%-иас багагүй, хэвтээ нэг чиглэлтэй урсгалын цэвэр өрөөний харьцаа 40%-иас багагүй байх ёстой, эс тэгвээс энэ нь хэсэгчилсэн нэг чиглэлтэй урсгал болно.
2. Электрон цэвэр өрөө болон гадна талын статик даралтын зөрүү 10Па-аас багагүй байх ёстой бөгөөд цэвэр талбай болон цэвэр бус талбайн агаарын цэвэр байдал өөр өөр байх хоорондын статик даралтын зөрүү 5Па-аас багагүй байх ёстой.
3. 10000 ангиллын электрон цэвэр өрөөний цэвэр агаарын хэмжээ нь дараах хоёр зүйлийн утгыг авах ёстой.
4. Доторх эерэг даралтын утгыг хадгалахын тулд доторх яндангийн агаарын эзэлхүүн болон цэвэр агаарын эзэлхүүний нийлбэрийг нөхнө.
5. Цэвэр өрөөнд нэг хүнд цагт нийлүүлэх цэвэр агаарын хэмжээ 40 хавтгай дөрвөлжин метрээс багагүй байхыг баталгаажуулна.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 4-р сарын 8