Цэвэрлэх өрөө нь агаар дахь түдгэлзүүлсэн тоосонцрын хяналттай концентрацитай өрөө юм. Түүний бүтээн байгуулалт, ашиглалт нь доторх тоосонцорыг нэвтрүүлэх, үүсгэх, хадгалахыг багасгах ёстой. Өрөөн доторх температур, чийгшил, даралт зэрэг бусад холбогдох параметрүүдийг шаардлагатай бол хянаж байх ёстой. Цэвэр өрөө нь агаарын нэгж эзэлхүүн дэх тодорхой ширхэгийн хэмжээтэй хэсгүүдийн тоонд хуваагдана. Агаар дахь түдгэлзүүлсэн тоосонцорын агууламжаар хуваагдана. Ерөнхийдөө утга нь бага байх тусам цэвэршүүлэх түвшин өндөр байна. Энэ нь 10-р анги> 100-р анги> 10000-р анги 100000 гэсэн үг юм.
100-р ангиллын цэвэр өрөөнд голчлон мэс заслын өрөө, эмийн үйлдвэрийн асептик үйлдвэрлэл орно.
0.1 микроноос их буюу тэнцүү хэмжээний цэвэршүүлсэн тоосонцрын тоо 100-аас их байж болохгүй.
Даралтын зөрүү ба температур, чийгшлийн температур 22℃±2; чийгшил 55%±5; үндсэндээ ффугаар бүрэн хучиж, өндөрлөг шал хийх хэрэгтэй. MAU+FFU+DC системийг хийх. Мөн эерэг даралтыг хадгалж, зэргэлдээх өрөөнүүдийн даралтын градиент 10 па орчим байх баталгаатай.
Гэрэлтүүлэг Тоосгүй цэвэрхэн өрөөнүүдийн ажлын ихэнх хэсэг нь нарийн шаардлага тавьдаг бөгөөд бүгд хаалттай байшин байдаг тул гэрэлтүүлгийн хувьд үргэлж өндөр шаардлага тавьдаг. Орон нутгийн гэрэлтүүлэг: Энэ нь зориулалтын байршлын гэрэлтүүлгийг нэмэгдүүлэх зорилгоор суурилуулсан гэрэлтүүлгийг хэлнэ. Гэсэн хэдий ч орон нутгийн гэрэлтүүлгийг ихэвчлэн дотоод гэрэлтүүлэгт дангаар нь ашигладаггүй. Холимог гэрэлтүүлэг: Энэ нь нэг гэрэлтүүлэг ба орон нутгийн гэрэлтүүлгийн нийлэгжсэн ажлын гадаргуу дээрх гэрэлтүүлгийг хэлдэг бөгөөд үүнд ерөнхий гэрэлтүүлгийн гэрэлтүүлэг нь нийт гэрэлтүүлгийн 10-15% -ийг эзлэх ёстой.
1000-р ангиллын цэвэр өрөөний стандарт нь нэг шоо метр тутамд 0.5 микроноос бага тоосонцрын тоосонцорыг 3500-аас бага тоогоор хянах бөгөөд энэ нь олон улсын тоосгүй стандартын А түвшинд хүрдэг. Одоогийн байдлаар чип түвшний үйлдвэрлэл, боловсруулалтад ашиглагдаж байгаа тоосгүй стандарт нь А ангиллаас илүү тоосны шаардлага тавьдаг. Ийм өндөр стандартыг ихэвчлэн зарим дээд түвшний чипс үйлдвэрлэхэд ашигладаг. Тоосны тоосонцрын тоог нэг шоо метр тутамд 1000 тоогоор хатуу хянадаг бөгөөд үүнийг цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлд 1000 анги гэж нэрлэдэг.
Ихэнх цэвэр тоосгүй цехүүдийн хувьд гадны бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд дотоод даралтыг (статик даралт) гаднах даралтаас (статик даралт) өндөр байлгах шаардлагатай байдаг. Даралтын зөрүүг хадгалах нь ерөнхийдөө дараах зарчмуудыг баримтлах ёстой: цэвэр орон зайн даралт нь цэвэр бус орон зайн даралтаас өндөр байх ёстой; өндөр цэвэршилттэй орон зайн даралт нь бага зэрэгтэй зэргэлдээх талбайн даралтаас өндөр байх ёстой; холбогдсон цэвэрхэн өрөөнүүдийн хоорондох хаалгыг өндөр цэвэршилттэй өрөөнд нээх хэрэгтэй. Даралтын зөрүүг хадгалах нь цэвэр агаарын хэмжээнээс хамаардаг бөгөөд энэ нь даралтын зөрүүний дор цоорхойноос гоожиж буй агаарын хэмжээг нөхөх чадвартай байх ёстой. Тиймээс даралтын зөрүүгийн физик утга нь цэвэр өрөөнд янз бүрийн цоорхойгоор дамжин өнгөрөх үед гоожиж буй (эсвэл нэвчсэн) агаарын эзэлхүүний эсэргүүцэл юм.
10000-р ангиллын цэвэрлэгээний өрөө гэдэг нь 0.5um-аас их буюу тэнцүү тоосны тоосонцрын тоо 35,000 ширхэг/м3 (35 ширхэг/)-ээс их буюу 35,000 ширхэг/м3 (350 ширхэг/)-ээс бага буюу тэнцүү, тоосны тоосонцрын тоо 5м3/30-ээс их буюу тэнцүү байна. (0.3 ширхэг) 3000 ширхэг/м3 (3 ширхэг) -ээс бага буюу тэнцүү байна. Даралтын зөрүү ба температур, чийгшлийн хяналт.
Температур ба чийгшлийн хуурай ороомгийн системийн хяналт. Агааржуулагчийн хайрцаг нь мэдрэгчтэй дохиогоор дамжуулан гурван талын хавхлагын нээлхийг хянах замаар агааржуулалтын хайрцагны ороомгийн усны хэрэглээг тохируулдаг.
100000 ангиллын цэвэр өрөө гэдэг нь ажлын цехийн нэг шоо метр дэх тоосонцорыг 100,000 дотор хянадаг гэсэн үг юм. Цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлийн цехийг голчлон электроникийн үйлдвэрлэл, эмийн үйлдвэрт ашигладаг. Хүнсний үйлдвэрийн хувьд 100 000-ын зэрэглэлийн цехтэй байх нь нэлээд сайн хэрэг. 100,000 ангиллын цэвэрлэгээний өрөөнд цагт 15-19 удаа агаар солих шаардлагатай бөгөөд бүрэн агааржуулалт хийсний дараа агаар цэвэршүүлэх хугацаа 40 минутаас хэтрэхгүй байх ёстой.
Цэвэрлэгээний ижил түвшний цэвэрхэн өрөөнүүдийн даралтын зөрүүг тогтмол байлгах ёстой. Цэвэрлэгээний янз бүрийн түвшинтэй зэргэлдээх цэвэр өрөөнүүдийн хоорондох даралтын зөрүү 5Па, цэвэрхэн болон цэвэр бус өрөөнүүдийн даралтын зөрүү >10па байна.
Температур ба чийгшил 100,000-р ангиллын цэвэр өрөөнд температур, чийгшилд тавигдах тусгай шаардлага байхгүй тохиолдолд эвгүй мэдрэмжгүйгээр ажлын цэвэр хувцас өмсөхийг зөвлөж байна. Температурыг ерөнхийдөө өвлийн улиралд 20 ~ 22 хэм, зуны улиралд 24 ~ 26 хэм, ± 2 хэмийн хэлбэлзэлтэй зохицуулдаг. Өвлийн улиралд цэвэрхэн өрөөнүүдийн чийгшил 30-50%, зуны улиралд цэвэрхэн өрөөний чийгшил 50-70% байна. Цэвэр өрөөнүүдийн (талбай) үндсэн үйлдвэрлэлийн өрөөнүүдийн гэрэлтүүлгийн хэмжээ ерөнхийдөө >300Lx байх ёстой: туслах студи, боловсон хүчний цэвэрлэгээ ба материал цэвэрлэх өрөө, агаарын камер, коридор гэх мэт гэрэлтүүлгийн хэмжээ 200~300л байх ёстой.
Шуудангийн цаг: 2025 оны 4-р сарын 14