Цэвэр өрөө гэдэг нь агаарт байгаа түдгэлзүүлсэн хэсгүүдийн концентрацийг хянадаг өрөө юм. Үүний бүтэц, хэрэглээ нь доторх хэсгүүдийн нэвтрэлт, үүсэлт, хадгалалтыг багасгах ёстой. Өрөөн доторх температур, чийгшил, даралт зэрэг бусад холбогдох параметрүүдийг шаардлагатай бол хянаж байх ёстой. Цэвэр өрөөг нэгж эзэлхүүн дэх агаарын тодорхой хэмжээтэй хэсгүүдийн тоогоор хуваана. Үүнийг агаарт байгаа түдгэлзүүлсэн хэсгүүдийн концентрацийн дагуу хуваана. Ерөнхийдөө утга нь бага байх тусам цэвэршүүлэх түвшин өндөр байна. Өөрөөр хэлбэл, 10-р анги> 100-р анги> 10000-р анги> 100000-р анги.
100-р зэрэглэлийн цэвэр өрөөний стандартад голчлон мэс заслын өрөө, эмийн үйлдвэрлэлийн асептик үйлдвэрлэл багтдаг.
Цэвэрлэгээний ширхэгийн хэмжээ 0.1 микроноос их буюу тэнцүү бөөмсийн хамгийн их тоо 100-аас их байж болохгүй.
Даралтын зөрүү ба температур ба чийгшлийн температур 22℃±2; чийгшил 55%±5; үндсэндээ үүнийг бүрэн ffu-ээр бүрхэж, өндөр шал хийх шаардлагатай. MAU+FFU+DC систем хийнэ. Мөн эерэг даралтыг хадгалж, зэргэлдээ өрөөнүүдийн даралтын градиент нь 10pa орчим байх баталгаатай.
Гэрэлтүүлэг Тоосгүй цэвэр өрөөнүүдийн ажлын ихэнх хэсэг нь нарийн шаардлага тавьдаг бөгөөд бүгд хаалттай байдаг тул гэрэлтүүлэгт өндөр шаардлага үргэлж байсаар ирсэн. Орон нутгийн гэрэлтүүлэг: Энэ нь тодорхой байршлын гэрэлтүүлгийг нэмэгдүүлэх зорилгоор суурилуулсан гэрэлтүүлгийг хэлнэ. Гэсэн хэдий ч орон нутгийн гэрэлтүүлгийг ерөнхийдөө дотор гэрэлтүүлэгт дангаар нь ашигладаггүй. Холимог гэрэлтүүлэг: Энэ нь нэг гэрэлтүүлэг болон орон нутгийн гэрэлтүүлгээс нийлэгжсэн ажлын гадаргуу дээрх гэрэлтүүлгийг хэлнэ. Үүнд ерөнхий гэрэлтүүлгийн гэрэлтүүлэг нь нийт гэрэлтүүлгийн 10%-15%-ийг эзэлдэг.
1000 ангиллын цэвэр өрөөний стандарт нь куб метр тутамд 0.5 микроноос бага хэмжээтэй тоосны тоосонцрын тоог 3500-аас бага болгож хянах бөгөөд энэ нь олон улсын тоосгүй А стандартын түвшинд хүрдэг. Чипийн түвшний үйлдвэрлэл, боловсруулалтад одоогоор ашиглагдаж буй тоосгүй стандарт нь А ангиллаас өндөр тоосны шаардлага тавьдаг. Ийм өндөр стандартыг голчлон зарим өндөр түвшний чип үйлдвэрлэхэд ашигладаг. Тоосны тоосонцрын тоог куб метр тутамд 1000 дотор хатуу хянадаг бөгөөд үүнийг цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлд 1000 ангилал гэж нэрлэдэг.
Тоосгүй цэвэр цехүүдийн ихэнх нь гадны бохирдол нэвтрэхээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд дотоод даралтыг (статик даралт) гадаад даралтаас (статик даралт) өндөр байлгах шаардлагатай. Даралтын зөрүүг хадгалах нь ерөнхийдөө дараах зарчмуудыг баримтлах ёстой: цэвэр орон зайн даралт нь цэвэр бус орон зайнхаас өндөр байх ёстой; өндөр цэвэршилттэй орон зайн даралт нь цэвэршилтийн түвшин багатай зэргэлдээ орон зайнхаас өндөр байх ёстой; холбогдсон цэвэр өрөөнүүдийн хоорондох хаалгыг өндөр цэвэршилттэй өрөөнүүд рүү онгойлгох ёстой. Даралтын зөрүүг хадгалах нь цэвэр агаарын хэмжээнээс хамаардаг бөгөөд энэ нь энэхүү даралтын зөрүүний доорх завсраас алдагдаж буй агаарын хэмжээг нөхөж чаддаг байх ёстой. Тиймээс даралтын зөрүүний физик утга нь цэвэр өрөөнд янз бүрийн завсраар дамжин өнгөрөх үед агаарын эзэлхүүн алдагдаж (эсвэл нэвтэрч) байгаа эсэргүүцэл юм.
10000 ангиллын цэвэр өрөө гэдэг нь 0.5 мкм-ээс их буюу тэнцүү тоосны хэсгүүдийн тоо 35,000 ширхэг/м3-ээс их (35 ширхэг/) 35,000 ширхэг/м3-ээс бага буюу тэнцүү (350 ширхэг/), 5 мкм-ээс их буюу тэнцүү тоосны хэсгүүдийн тоо 300 ширхэг/м3-ээс их (0.3 ширхэг) 3000 ширхэг/м3-ээс бага буюу тэнцүү (3 ширхэг) байхыг хэлнэ. Даралтын зөрүү болон температур, чийгшлийн хяналт.
Температур ба чийгшлийн хуурай ороомгийн системийн хяналт. Агааржуулагчийн хайрцаг нь мэдрэгчтэй дохиогоор гурван талын хавхлагын нээлхийг хянах замаар агааржуулагчийн хайрцагны ороомгийн усны хэрэглээг тохируулдаг.
100000 ангиллын цэвэр өрөө гэдэг нь ажлын цех дэх куб метрт ногдох тоосонцрыг 100,000 дотор хянадаг гэсэн үг юм. Цэвэр өрөөний үйлдвэрлэлийн цехийг голчлон электроникийн үйлдвэрлэл болон эмийн үйлдвэрт ашигладаг. Хүнсний үйлдвэрт 100,000 ангиллын үйлдвэрлэлийн цехтэй байх нь нэлээд сайн хэрэг. 100,000 ангиллын цэвэр өрөөнд цагт 15-19 удаа агаар солих шаардлагатай бөгөөд бүрэн агааржуулалт хийсний дараа агаар цэвэршүүлэх хугацаа 40 минутаас хэтрэхгүй байх ёстой.
Ижил цэвэр байдлын түвшинтэй цэвэр өрөөнүүдийн даралтын зөрүүг тогтмол байлгах ёстой. Өөр өөр цэвэр байдлын түвшинтэй зэргэлдээх цэвэр өрөөнүүдийн хоорондох даралтын зөрүү 5Па, цэвэр өрөө болон цэвэр бус өрөөний хоорондох даралтын зөрүү >10Па байх ёстой.
Температур ба чийгшил 100,000 цэвэр өрөөний температур ба чийгшилд тусгай шаардлага байхгүй үед тав тухгүй мэдрэмж төрөхгүйгээр цэвэр ажлын хувцас өмсөхийг зөвлөж байна. Температурыг ерөнхийдөө өвлийн улиралд 20~22℃, зуны улиралд 24~26℃ хэмд хянаж, ±2C хэлбэлзэлтэй байлгадаг. Өвлийн улиралд цэвэр өрөөний чийгшлийг 30-50%, зуны улиралд цэвэр өрөөний чийгшлийг 50-70% хэмд хянадаг. Цэвэр өрөө (талбай)-ын гол үйлдвэрлэлийн өрөөнүүдийн гэрэлтүүлгийн хэмжээ ерөнхийдөө >300Lx байх ёстой: туслах студи, ажилтан цэвэрлэх болон материал цэвэршүүлэх өрөө, агаарын камер, коридор гэх мэт гэрэлтүүлгийн хэмжээ 200~300L байх ёстой.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 4-р сарын 14