1. Дизайны шинж чанарууд
Чип бүтээгдэхүүний функциональчлал, миниатюрчлал, интеграци, нарийвчлалын шаардлагуудаас шалтгаалан үйлдвэрлэл, үйлдвэрлэлийн зориулалттай чип цэвэр өрөөний дизайны шаардлага нь ерөнхий үйлдвэрүүдийнхээс эрс ялгаатай байдаг.
(1) Цэвэрлэгээний шаардлага: Чип үйлдвэрлэх орчин нь агаарын бөөмсийн тоо хэмжээг хянах өндөр шаардлага тавьдаг;
(2) Агаар нэвтрэхгүй байх шаардлага: Агаарын алдагдал эсвэл бохирдлын нөлөөллийг багасгахын тулд бүтцийн завсар зайг багасгаж, завсар зайн бүтцийн агаар нэвтрэхгүй байдлыг бэхжүүлэх;
(3) Үйлдвэрийн системийн шаардлага: Тусгай хий, химийн бодис, цэвэр бохир ус гэх мэт процессын машинуудын хэрэгцээг тусгай эрчим хүч болон цахилгаан механик системүүд хангадаг;
(4) Микро чичиргээний эсрэг шаардлага: Чип боловсруулах нь өндөр нарийвчлал шаарддаг бөгөөд тоног төхөөрөмжид чичиргээний нөлөөллийг бууруулах шаардлагатай;
(5) Орон зайн шаардлага: Үйлдвэрийн давхрын төлөвлөгөө нь энгийн, тодорхой үйл ажиллагааны хуваалттай, далд дамжуулах хоолойтой, орон зайн зохистой хуваарилалттай тул үйлдвэрлэлийн үйл явц, тоног төхөөрөмжийг шинэчлэх үед уян хатан байдлыг бий болгодог.
2. Барилгын чиглэл
(1). Барилгын хугацааг чангатгах. Мурын хуулийн дагуу чипийн интеграцийн нягтрал дунджаар 18-24 сар тутамд хоёр дахин нэмэгдэх болно. Электрон бүтээгдэхүүний шинэчлэлт, давталттай холбоотойгоор үйлдвэрлэлийн үйлдвэрүүдийн эрэлт хэрэгцээ мөн шинэчлэгдэх болно. Электрон бүтээгдэхүүний хурдацтай шинэчлэлтийн улмаас электрон цэвэр үйлдвэрүүдийн бодит ашиглалтын хугацаа ердөө 10-15 жил байна.
(2). Нөөцийн зохион байгуулалтын өндөр шаардлага. Цахим цэвэр өрөө нь ерөнхийдөө барилгын эзэлхүүн ихтэй, барилгын хугацаа бага, үйл явц хоорондоо нягт уялдаатай, нөөцийн эргэлт хэцүү, гол материалын хэрэглээ илүү төвлөрсөн байдаг. Ийм нягт нөөцийн зохион байгуулалт нь ерөнхий төлөвлөгөөний менежментэд өндөр дарамт учруулж, нөөцийн зохион байгуулалтын өндөр шаардлага тавьдаг. Суурь болон үндсэн үе шатанд энэ нь голчлон хөдөлмөр, ган арматур, бетон, хүрээний материал, өргөх машин механизм гэх мэтэд тусгагдсан байдаг; цахилгаан механик, чимэглэл, тоног төхөөрөмж суурилуулах үе шатанд энэ нь голчлон барилгын машин механизмын янз бүрийн хоолой, туслах материал, тусгай тоног төхөөрөмж гэх мэтэд тусгагдсан байдаг.
(3). Барилгын өндөр чанарын шаардлага нь хавтгай байдал, агаар нэвтрэхгүй байдал, тоос багатай барилга байгууламж гэсэн гурван тал дээр голчлон тусгагдсан байдаг. Нарийн тоног төхөөрөмжийг хүрээлэн буй орчны хохирол, гадаад чичиргээ, хүрээлэн буй орчны резонансаас хамгаалахаас гадна тоног төхөөрөмжийн өөрийнх нь тогтвортой байдал нь адил чухал юм. Тиймээс шалны тэгш байдлын шаардлага нь 2мм/2м байна. Агаар нэвтрэхгүй байдлыг хангах нь өөр өөр цэвэр талбайн хоорондох даралтын зөрүүг хадгалах, улмаар бохирдлын эх үүсвэрийг хянах чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Агаар шүүгч, агааржуулагч төхөөрөмжийг суурилуулахаас өмнө цэвэр өрөөний цэвэрлэгээг хатуу хянаж, барилгын бэлтгэл ажил болон угсралтын дараа тоос орох магадлалтай холбоосуудыг хянана.
(4) Туслан гүйцэтгэгчийн менежмент болон зохицуулалтад өндөр шаардлага тавьдаг. Цахим цэвэр өрөөний барилгын үйл явц нь нарийн төвөгтэй, өндөр мэргэшсэн, олон тусгай туслан гүйцэтгэгчдийг хамардаг бөгөөд өөр өөр салбаруудын хооронд өргөн хүрээний хөндлөн ажиллагаатай байдаг. Тиймээс салбар бүрийн үйл явц болон ажлын гадаргууг зохицуулах, хөндлөн ажиллагаатай байдлыг багасгах, салбаруудын хоорондын интерфейсийн шилжүүлгийн бодит хэрэгцээг ойлгох, ерөнхий гүйцэтгэгчийн зохицуулалт, менежментийг сайн хийх шаардлагатай байна.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 22
