IC үйлдвэрлэлийн салбар дахь чипний гарцын хэмжээ нь чип дээр хуримтлагдсан агаарын тоосонцрын хэмжээ, тоотой нягт холбоотой байдаг. Агаарын урсгалын сайн зохион байгуулалт нь тоосны эх үүсвэрээс үүссэн тоосонцорыг цэвэр өрөөнөөс зайлуулж, цэвэр өрөөний цэвэр байдлыг хангах боломжтой, өөрөөр хэлбэл цэвэр өрөөнд байгаа агаарын урсгалын зохион байгуулалт нь IC үйлдвэрлэлийн гарцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цэвэр өрөөнд агаарын урсгалын зохион байгуулалтыг төлөвлөхдөө дараахь зорилгод хүрэх шаардлагатай: хортой тоосонцорыг хадгалахгүйн тулд урсгалын талбар дахь эргэлтийн урсгалыг багасгах буюу арилгах; хөндлөн бохирдлоос сэргийлэхийн тулд зохих эерэг даралтын налууг хадгалах.
Агаарын урсгалын хүч
Цэвэр өрөөний зарчмын дагуу бөөмс дээр үйлчлэх хүч нь массын хүч, молекулын хүч, бөөмс хоорондын таталцал, агаарын урсгалын хүч гэх мэт орно.
Агаарын урсгалын хүч: Хүргэлтийн, буцах агаарын урсгал, дулааны конвекцийн агаарын урсгал, хиймэл хутгах болон бусад хэсгүүдийг зөөвөрлөх тодорхой урсгалын хурдтай агаарын урсгалын хүчийг хэлнэ. Цэвэр өрөөний орчны техникийн хяналтын хувьд агаарын урсгалын хүч нь хамгийн чухал хүчин зүйл юм.
Агаарын урсгалын хөдөлгөөнд тоосонцор нь агаарын урсгалын хөдөлгөөнийг бараг ижил хурдтайгаар дагадаг болохыг туршилтаар харуулсан. Агаар дахь бөөмсийн төлөвийг агаарын урсгалын тархалтаар тодорхойлно. Дотор хэсгүүдэд нөлөөлдөг агаарын урсгалд голчлон дараахь зүйлс орно: агаарын хангамжийн агаарын урсгал (анхны болон хоёрдогч агаарын урсгалыг оруулаад), алхаж буй хүмүүсийн агаарын урсгал ба дулааны конвекцийн агаарын урсгал, технологийн үйл ажиллагаа болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжөөс үүсэх агаарын урсгал. Агаарын хангамжийн янз бүрийн аргууд, хурдны интерфэйсүүд, операторууд болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, цэвэр өрөөнд үүссэн үзэгдлүүд нь цэвэр байдлын түвшинд нөлөөлдөг хүчин зүйлүүд юм.
Агаарын урсгалын зохион байгуулалтад нөлөөлөх хүчин зүйлүүд
1. Агаарын хангамжийн аргын нөлөө
(1). Агаарын хангамжийн хурд
Агаарын жигд урсгалыг хангахын тулд нэг чиглэлтэй цэвэр өрөөнд агаарын хангамжийн хурд жигд байх ёстой; агаарын хангамжийн гадаргуугийн үхсэн бүс нь бага байх ёстой; мөн ULPA дахь даралтын уналт нь жигд байх ёстой.
Агаарын нийлүүлэлтийн жигд хурд: өөрөөр хэлбэл агаарын урсгалын жигд бус байдлыг ±20% -ийн дотор хянадаг.
Агаарын хангамжийн гадаргуу дээрх үхсэн бүс бага: зөвхөн ULPA хүрээний хавтгай талбайг багасгахаас гадна илүү чухал хүрээг хялбарчлахын тулд модульчлагдсан FFU-ийг ашиглах хэрэгтэй.
Босоо нэг чиглэлтэй агаарын урсгалыг хангахын тулд шүүлтүүрийн даралтын уналтыг сонгох нь маш чухал бөгөөд шүүлтүүр дэх даралтын алдагдлыг хазайлгахгүй байхыг шаарддаг.
(2). FFU систем ба тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системийн харьцуулалт
FFU нь сэнс, шүүлтүүр (ULPA) бүхий агаарын хангамжийн нэгж юм. FFU-ийн төвөөс зугтах сэнсээр агаарыг сорсны дараа динамик даралтыг агаарын суваг дахь статик даралт болгон хувиргаж, ULPA-ээр жигд үлээлгэдэг. Таазан дээрх агаарын хангамжийн даралт нь сөрөг даралттай тул шүүлтүүрийг солих үед цэвэр өрөөнд тоос орохгүй. Туршилтаар FFU систем нь агаарын гаралтын жигд байдал, агаарын урсгалын параллель байдал, агааржуулалтын үр ашгийн индексийн хувьд тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системээс давуу болохыг харуулсан. Учир нь FFU системийн агаарын урсгалын параллелизм илүү сайн байдаг. FFU системийг ашиглах нь цэвэр өрөөнд агаарын урсгалыг илүү сайн зохион байгуулах боломжтой.
(3). FFU-ийн өөрийн бүтцийн нөлөө
FFU нь ихэвчлэн сэнс, шүүлтүүр, агаарын урсгалын чиглүүлэгч төхөөрөмж болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрдэнэ. Хэт өндөр үр ашигтай шүүлтүүр ULPA нь цэвэр өрөө нь дизайны шаардлагатай цэвэр байдлыг хангаж чадах эсэхийн хамгийн чухал баталгаа юм. Шүүлтүүрийн материал нь урсгалын талбайн жигд байдалд нөлөөлнө. Шүүлтүүрийн гаралтын хэсэгт том ширхэгтэй шүүлтүүр материал эсвэл ламинар урсгалын хавтанг нэмэхэд гаралтын урсгалын талбарыг хялбархан жигд болгож болно.
2. Цэвэр байдлын янз бүрийн хурдны интерфэйсүүдийн нөлөөлөл
Нэг цэвэрхэн өрөөнд, ажлын талбай ба ажлын бус талбайн босоо нэг чиглэлтэй урсгалын хооронд ULPA гаралтын агаарын хурдны зөрүүгээс болж интерфэйс дээр холимог эргүүлгийн нөлөө үүсэх бөгөөд энэ интерфэйс нь ялангуяа агаарын үймээн самууны эрч хүчтэй, турбулент агаарын урсгалын бүс болно. Тоног төхөөрөмжийн гадаргуу дээр тоосонцор дамжиж, тоног төхөөрөмж, ялтсуудыг бохирдуулж болно.
3. Ажилтан болон тоног төхөөрөмжийн нөлөөлөл
Цэвэр өрөө хоосон байх үед өрөөнд байгаа агаарын урсгалын шинж чанар нь ерөнхийдөө дизайны шаардлагад нийцдэг. Тоног төхөөрөмж цэвэрхэн өрөөнд орж, боловсон хүчний нүүдэл, бүтээгдэхүүн дамжсаны дараа агаарын урсгалын зохион байгуулалтад саад тотгор учруулах нь гарцаагүй. Жишээлбэл, тоног төхөөрөмжийн цухуйсан булан эсвэл ирмэг дээр хий нь эргэлддэг бүсийг бий болгохын тулд хийг өөр тийш нь чиглүүлж, бүс дэх шингэн нь хийнд амархан зөөгддөггүй тул бохирдол үүсгэдэг. Үүний зэрэгцээ тоног төхөөрөмжийн гадаргуу тасралтгүй ажилласнаар халах ба температурын градиент нь машины ойролцоо дахин урсах бүс үүсгэх бөгөөд энэ нь дахин урсах бүсэд бөөмсийн хуримтлалыг нэмэгдүүлнэ. Үүний зэрэгцээ өндөр температур нь бөөмсийг амархан гадагшлуулах болно. Давхар нөлөө нь нийт босоо ламинар цэвэр байдлыг хянахад хүндрэл учруулдаг. Цэвэр өрөөнд байгаа операторуудын тоос нь эдгээр дахин урсдаг бүс дэх вафельд наалдахад маш хялбар байдаг.
4. Буцах агаарын шалны нөлөөлөл
Шалаар дамжин өнгөрөх буцах агаарын эсэргүүцэл өөр байх үед даралтын зөрүү үүсч, агаарын эсэргүүцэл багатай чиглэлд урсаж, жигд агаарын урсгалыг олж авахгүй. Одоогийн алдартай дизайны арга бол өндөр шалыг ашиглах явдал юм. Өндөр давхрын нээлтийн хурд 10% байх үед өрөөний ажлын өндөрт агаарын урсгалын хурдыг жигд хуваарилах боломжтой. Түүнчлэн, шалны бохирдлын эх үүсвэрийг багасгахын тулд цэвэрлэгээний ажилд онцгой анхаарал хандуулах хэрэгтэй.
5. Индукцийн үзэгдэл
Индукцийн үзэгдэл гэж нэрлэгддэг үзэгдэл нь жигд урсгалын эсрэг чиглэлд агаарын урсгал үүсч, өрөөнд үүссэн тоос эсвэл зэргэлдээх бохирдсон талбайн тоос нь салхины эсрэг тал руу өдөөгдөж, тоос нь чипийг бохирдуулж болзошгүй үзэгдлийг хэлдэг. Дараах боломжит индукцийн үзэгдлүүд байна.
(1). Сохор хавтан
Босоо нэг чиглэлтэй урсгалтай цэвэрхэн өрөөнд ханан дээрх холбоосын улмаас ерөнхийдөө том сохор хавтангууд байдаг бөгөөд энэ нь орон нутгийн буцах урсгалд турбулент үүсгэдэг.
(2). Дэнлүү
Цэвэр өрөөнд гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл илүү их нөлөөлнө. Флюресцент чийдэнгийн дулаан нь агаарын урсгалыг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг тул флюресцент чийдэнгийн дор булингартай газар байхгүй болно. Ерөнхийдөө цэвэрхэн өрөөнд байгаа чийдэнгүүд нь дэнлүүний агаарын урсгалын зохион байгуулалтад үзүүлэх нөлөөллийг багасгахын тулд нулимс дусал хэлбэрээр хийгдсэн байдаг.
(3.) Хананы хоорондох зай
Цэвэрлэгээний янз бүрийн түвшний хуваалтууд эсвэл хуваалт, таазны хооронд зай завсар байгаа тохиолдолд цэвэр байдлын шаардлага багатай талбайн тоосыг зэргэлдээх талбай руу шилжүүлж болно.
(4). Машин ба шал эсвэл хананы хоорондох зай
Хэрэв машин ба шал эсвэл хананы хоорондох зай маш бага байвал энэ нь буцах үймээнийг үүсгэдэг. Тиймээс, төхөөрөмж болон хананы хооронд зай үлдээж, машиныг газарт шууд хүргэхээс зайлсхийхийн тулд машиныг дээшлүүлнэ.
Шуудангийн цаг: 2025-02-05