IC үйлдвэрлэлийн салбарын чипний гарцын хэмжээ нь чип дээр хуримтлагдсан агаарын бөөмсийн хэмжээ, тоо хэмжээтэй нягт холбоотой байдаг. Агаарын урсгалын сайн зохион байгуулалт нь тоосны эх үүсвэрээс үүссэн бөөмсийг цэвэр өрөөнөөс холдуулж, цэвэр өрөөний цэвэр байдлыг хангаж чадна, өөрөөр хэлбэл цэвэр өрөөнд агаарын урсгалын зохион байгуулалт нь IC үйлдвэрлэлийн гарцын түвшинд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цэвэр өрөөнд агаарын урсгалын зохион байгуулалтын зураг төсөл нь дараах зорилгод хүрэх шаардлагатай: хортой бөөмсийг хадгалахаас зайлсхийхийн тулд урсгалын талбай дахь хуйлралын гүйдлийг багасгах эсвэл арилгах; хөндлөн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд зохих эерэг даралтын градиентийг хадгалах.
Агаарын урсгалын хүч
Цэвэр өрөөний зарчмын дагуу бөөмс дээр үйлчилдэг хүчүүдэд массын хүч, молекулын хүч, бөөмсийн хоорондох таталцал, агаарын урсгалын хүч гэх мэт орно.
Агаарын урсгалын хүч: Энэ нь хүргэх, буцах агаарын урсгал, дулааны конвекцийн агаарын урсгал, хиймэл хутгах болон бусад тодорхой урсгалын хурдтайгаар бөөмсийг зөөвөрлөх агаарын урсгалаас үүдэлтэй агаарын урсгалын хүчийг хэлнэ. Цэвэр өрөөний орчны техникийн хяналтад агаарын урсгалын хүч хамгийн чухал хүчин зүйл юм.
Агаарын урсгалын хөдөлгөөнд бөөмс нь агаарын урсгалын хөдөлгөөнийг бараг ижил хурдаар дагадаг болохыг туршилтууд харуулсан. Агаар дахь бөөмсийн төлөв байдлыг агаарын урсгалын тархалт тодорхойлдог. Дотор бөөмсүүдэд нөлөөлдөг агаарын урсгалд голчлон: агаарын хангамжийн агаарын урсгал (анхдагч агаарын урсгал ба хоёрдогч агаарын урсгалыг оруулаад), хүмүүсийн алхахаас үүдэлтэй агаарын урсгал ба дулааны конвекцийн агаарын урсгал, мөн процессын ажиллагаа болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжөөс үүдэлтэй агаарын урсгал орно. Агаарын хангамжийн янз бүрийн аргууд, хурдны интерфэйс, операторууд болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, цэвэр өрөөнд үүссэн үзэгдлүүд нь бүгд цэвэр байдлын түвшинд нөлөөлдөг хүчин зүйлүүд юм.
Агаарын урсгалын зохион байгуулалтад нөлөөлдөг хүчин зүйлүүд
1. Агаарын хангамжийн аргын нөлөө
(1). Агаарын хангамжийн хурд
Агаарын жигд урсгалыг хангахын тулд нэг чиглэлтэй цэвэр өрөөнд агаарын хангамжийн хурд жигд байх ёстой; агаар хангамжийн гадаргуугийн үхмэл бүс бага байх ёстой; мөн ULPA дахь даралтын уналт мөн жигд байх ёстой.
Агаарын хангамжийн жигд хурд: өөрөөр хэлбэл агаарын урсгалын жигд бус байдлыг ±20% дотор хянадаг.
Агаарын хангамжийн гадаргуу дээрх үхмэл бүсийг багасгах: ULPA хүрээний хавтгай талбайг багасгахаас гадна илүүдэл хүрээг хялбаршуулахын тулд модульчлагдсан FFU-г ашиглах хэрэгтэй.
Босоо нэг чиглэлтэй агаарын урсгалыг хангахын тулд шүүлтүүрийн даралтын уналтыг сонгох нь маш чухал бөгөөд шүүлтүүр дэх даралтын алдагдал хэлбэлзэхгүй байх шаардлагатай.
(2). FFU систем болон тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системийн харьцуулалт
FFU нь сэнс болон шүүлтүүр (ULPA) бүхий агаар хангамжийн төхөөрөмж юм. FFU-ийн төвөөс зугтах сэнсээр агаарыг соруулсны дараа динамик даралтыг агаарын сувгийн статик даралт болгон хувиргаж, ULPA-аар жигд үлээдэг. Тааз дээрх агаарын хангамжийн даралт нь сөрөг даралттай тул шүүлтүүрийг солиход цэвэр өрөөнд тоос орохгүй. Туршилтаар FFU систем нь агаарын гаралтын жигд байдал, агаарын урсгалын параллелизм болон агааржуулалтын үр ашгийн индексийн хувьд тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системээс давуу болохыг харуулсан. Учир нь FFU системийн агаарын урсгалын параллелизм илүү сайн байдаг. FFU системийг ашиглах нь цэвэр өрөөний агаарын урсгалыг илүү зохион байгуулалттай болгож чадна.
(3). FFU-ийн өөрийн бүтцийн нөлөө
FFU нь голчлон сэнс, шүүлтүүр, агаарын урсгалын хөтлөгч төхөөрөмж болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрдэнэ. Хэт өндөр үр ашигтай шүүлтүүр ULPA нь цэвэр өрөө нь дизайны шаардлагатай цэвэр байдлыг хангаж чадах эсэхийг баталгаажуулах хамгийн чухал баталгаа юм. Шүүлтүүрийн материал нь урсгалын талбайн жигд байдалд нөлөөлнө. Шүүлтүүрийн гаралтын хэсэгт бүдүүн шүүлтүүрийн материал эсвэл ламинар урсгалын хавтанг нэмэхэд гаралтын урсгалын талбайг хялбархан жигд болгож болно.
2. Цэвэрлэгээний янз бүрийн хурдны интерфэйсийн нөлөө
Нэг цэвэр өрөөнд, босоо нэг чиглэлтэй урсгалын ажлын хэсэг болон ажиллахгүй хэсгийн хооронд ULPA гаралтын агаарын хурдны зөрүүгээс шалтгаалан завсрын хэсэгт холимог эргүүлэг үүсэх бөгөөд энэ завсрын хэсэг нь агаарын турбулентийн өндөр эрчимтэй турбулент агаарын урсгалын бүс болж хувирна. Бөөмс нь тоног төхөөрөмжийн гадаргуу руу дамжин өнгөрч, тоног төхөөрөмж болон вафлиг бохирдуулж болзошгүй.
3. Ажилтан болон тоног төхөөрөмжийн нөлөөлөл
Цэвэр өрөө хоосон байх үед өрөөний агаарын урсгалын шинж чанар нь ерөнхийдөө дизайны шаардлагыг хангадаг. Тоног төхөөрөмж цэвэр өрөөнд орж, ажилчид хөдөлж, бүтээгдэхүүн дамжуулсны дараа агаарын урсгалын зохион байгуулалтад зайлшгүй саад тотгор учирна. Жишээлбэл, тоног төхөөрөмжийн цухуйсан булан эсвэл ирмэг дээр хий нь турбулент бүс үүсгэхээр чиглэлээ өөрчилдөг бөгөөд бүс дэх шингэн нь хийнд амархан зөөгддөггүй тул бохирдол үүсгэдэг. Үүний зэрэгцээ, тоног төхөөрөмжийн гадаргуу тасралтгүй ажилласнаас болж халж, температурын градиент нь машины ойролцоо дахин урсах бүс үүсгэж, дахин урсах бүсэд бөөмсийн хуримтлалыг нэмэгдүүлдэг. Үүний зэрэгцээ өндөр температур нь бөөмсийг амархан гадагшлуулахад хүргэдэг. Давхар нөлөө нь нийт босоо ламинар цэвэр байдлыг хянах хүндрэлийг улам хүндрүүлдэг. Цэвэр өрөөнд ажиллаж буй операторуудаас гарч буй тоос нь эдгээр дахин урсах бүс дэх вафлид наалдахад маш хялбар байдаг.
4. Буцаж буй агаарын шалны нөлөө
Шалнаас гарах буцах агаарын эсэргүүцэл өөр байх үед даралтын зөрүү үүсч, агаар бага эсэргүүцэлтэй чиглэлд урсах бөгөөд жигд агаарын урсгал үүсэхгүй. Одоогийн түгээмэл дизайны арга бол өндөр шал ашиглах явдал юм. Өндөр шалны нээлтийн хурд 10% байх үед өрөөний ажлын өндөрт агаарын урсгалын хурдыг жигд хуваарилах боломжтой. Үүнээс гадна, шалны бохирдлын эх үүсвэрийг бууруулахын тулд цэвэрлэгээний ажилд онцгой анхаарал хандуулах хэрэгтэй.
5. Индукцийн үзэгдэл
Индукцийн үзэгдэл гэж нэрлэгддэг зүйл нь жигд урсгалын эсрэг чиглэлд агаарын урсгал үүсч, өрөөнд эсвэл зэргэлдээ бохирдсон хэсэгт үүссэн тоос нь салхины эсрэг чиглэлд урсаж, улмаар тоос нь чипийг бохирдуулж болзошгүй үзэгдлийг хэлнэ. Дараах индукцийн үзэгдлүүд байж болно.
(1). Сохор хавтан
Босоо нэг чиглэлтэй урсгалтай цэвэр өрөөнд ханан дээрх холбоосуудаас шалтгаалан ерөнхийдөө том сохор хавтангууд байдаг бөгөөд энэ нь орон нутгийн буцах урсгалд турбулент байдлыг үүсгэдэг.
(2). Дэнлүүнүүд
Цэвэр өрөөний гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл илүү их нөлөө үзүүлэх болно. Флюресцент чийдэнгийн дулаан нь агаарын урсгалыг нэмэгдүүлдэг тул флюресцент чийдэнгийн доор турбулент хэсэг байхгүй болно. Ерөнхийдөө цэвэр өрөөний чийдэнг агаарын урсгалын зохион байгуулалтад үзүүлэх нөлөөллийг бууруулахын тулд дусал хэлбэртэй хийдэг.
(3.) Ханын хоорондох зай завсар
Цэвэрлэгээний түвшин өөр өөр хананы хооронд эсвэл хана болон таазны хооронд зай завсар байгаа тохиолдолд цэвэр байдлын шаардлага багатай хэсгийн тоос нь өндөр цэвэр байдлын шаардлага өндөртэй зэргэлдээх талбай руу шилжиж болно.
(4). Машин болон шал эсвэл хананы хоорондох зай
Хэрэв машин болон шал эсвэл хананы хоорондох зай маш бага байвал энэ нь эргэн сэргэх турбулент байдлыг үүсгэнэ. Тиймээс тоног төхөөрөмж болон хананы хооронд зай үлдээж, машиныг газарт шууд хүргэхээс зайлсхийхийн тулд машиныг өргөх хэрэгтэй.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 2-р сарын 5