Байгаль орчныг хамгаалах асуудалд, ялангуяа манантай цаг агаар нэмэгдэхийн хэрээр улам бүр анхаарал хандуулж байна. Цэвэр өрөөний инженерчлэл нь байгаль орчныг хамгаалах арга хэмжээний нэг юм. Байгаль орчныг хамгаалах ажлыг сайн хийхийн тулд цэвэр өрөөний инженерчлэлийг хэрхэн ашиглах вэ? Цэвэр өрөөний инженерчлэлийн хяналтын талаар ярилцъя.
Цэвэр өрөөнд температур ба чийгшлийн хяналт
Цэвэр орон зайн температур, чийгшлийг голчлон процессын шаардлагад үндэслэн тодорхойлдог боловч процессын шаардлагыг хангахдаа хүний тав тухыг харгалзан үзэх хэрэгтэй. Агаарын цэвэр байдлын шаардлага сайжирч байгаатай холбогдуулан процессын явцад температур, чийгшлийн шаардлага улам чангарах хандлага ажиглагдаж байна.
Ерөнхий зарчмын хувьд, боловсруулалтын нарийвчлал нэмэгдэж байгаатай холбогдуулан температурын хэлбэлзлийн хүрээний шаардлага улам бүр багасч байна. Жишээлбэл, том хэмжээний интеграл хэлхээний үйлдвэрлэлийн литографи ба өртөлтийн процесст маск материал болгон ашигладаг шилэн ба цахиурын вафлины дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүү улам бүр багасч байна.
100 μм диаметртэй цахиурын хавтангийн диаметр нь температур 1 градусаар нэмэгдэхэд 0.24 μм шугаман тэлэлт үүсгэдэг. Тиймээс ± 0.1 ℃ тогтмол температур шаардлагатай бөгөөд чийгшлийн утга нь ерөнхийдөө бага байдаг, учир нь хөлсний дараа бүтээгдэхүүн бохирдох болно, ялангуяа натриас айдаг хагас дамжуулагч цехүүдэд. Энэ төрлийн цех 25 ℃-ээс хэтрэхгүй байх ёстой.
Хэт их чийгшил нь илүү их асуудал үүсгэдэг. Харьцангуй чийгшил 55%-иас хэтэрсэн үед хөргөлтийн усны хоолойн ханан дээр конденсац үүснэ. Хэрэв энэ нь нарийвчлалтай төхөөрөмж эсвэл хэлхээнд тохиолдвол янз бүрийн осол үүсгэж болзошгүй. Харьцангуй чийгшил 50% байвал зэврэх нь амархан байдаг. Үүнээс гадна, чийгшил хэт өндөр байх үед цахиурын хавтангийн гадаргуу дээр наалдсан тоос нь агаар дахь усны молекулуудаар дамжин гадаргуу дээр химийн аргаар шингэж, арилгахад хэцүү байдаг.
Харьцангуй чийгшил өндөр байх тусам наалдацыг арилгахад хэцүү байдаг. Гэсэн хэдий ч харьцангуй чийгшил 30%-иас доош байх үед электростатик хүчний үйлчлэлээс болж бөөмс гадаргуу дээр амархан шингэдэг бөгөөд олон тооны хагас дамжуулагч төхөөрөмж эвдэрдэг. Цахиурын хавтангийн үйлдвэрлэлийн оновчтой температурын хүрээ нь 35-45% байдаг.
Агаарын даралтхяналтцэвэрхэн өрөөнд
Ихэнх цэвэр орон зайд гадны бохирдол нэвтрэхээс урьдчилан сэргийлэхийн тулд дотоод даралтыг (статик даралт) гадаад даралтаас (статик даралт) өндөр байлгах шаардлагатай. Даралтын зөрүүг хадгалах нь ерөнхийдөө дараах зарчмуудыг дагаж мөрдөх ёстой.
1. Цэвэр орон зай дахь даралт нь цэвэр бус орон зай дахь даралтаас өндөр байх ёстой.
2. Цэвэрлэгээний түвшин өндөртэй орон зайн даралт нь цэвэршилтийн түвшин багатай зэргэлдээх орон зайн даралтаас өндөр байх ёстой.
3. Цэвэр өрөөнүүдийн хоорондох хаалгыг өндөр цэвэршилттэй өрөөнүүд рүү онгойлгох хэрэгтэй.
Даралтын зөрүүг хадгалах нь цэвэр агаарын хэмжээнээс хамаардаг бөгөөд энэ нь энэхүү даралтын зөрүүний доорх завсраас агаарын алдагдлыг нөхөх чадвартай байх ёстой. Тиймээс даралтын зөрүүний физик утга нь цэвэр өрөөнд янз бүрийн завсраар дамжин өнгөрөх агаарын урсгалын алдагдал (эсвэл нэвчилт)-ийн эсэргүүцэл юм.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 7-р сарын 21