Ялангуяа манантай цаг агаар нэмэгдэж байгаатай холбогдуулан байгаль орчныг хамгаалахад илүү их анхаарал хандуулж байна.Цэвэр өрөөний инженерчлэл нь байгаль орчныг хамгаалах арга хэмжээний нэг юм.Байгаль орчныг хамгаалах чиглэлээр сайн ажил хийхийн тулд цэвэр өрөөний инженерчлэлийг хэрхэн ашиглах вэ?Цэвэр өрөөний инженерчлэл дэх хяналтын талаар ярилцъя.
Цэвэр өрөөнд температур, чийгшлийн хяналт
Цэвэр орон зайн температур, чийгшлийг голчлон процессын шаардлагад үндэслэн тодорхойлдог боловч процессын шаардлагыг хангахдаа хүний тав тухыг анхаарч үзэх хэрэгтэй.Агаарын цэвэр байдлын шаардлага сайжирснаар процессын температур, чийгшилд тавигдах шаардлага улам бүр нэмэгдсээр байна.
Ерөнхий зарчим бол боловсруулалтын нарийвчлал нэмэгдэж байгаатай холбоотойгоор температурын хэлбэлзлийн хязгаарт тавигдах шаардлага улам бүр багасч байна.Жишээлбэл, том хэмжээний нэгдсэн хэлхээний үйлдвэрлэлийн литографи болон өртөлтийн процесст маскны материал болгон ашигладаг шил болон цахиур хавтан хоорондын дулааны тэлэлтийн коэффициентийн ялгаа улам бүр багасч байна.
100 μ м диаметртэй цахиур хавтан нь температур 1 градусаар нэмэгдэхэд 0.24 μ м шугаман тэлэлт үүсгэдэг.Тиймээс ± 0.1 ℃ тогтмол температур шаардлагатай бөгөөд чийгшил нь ерөнхийдөө бага байдаг, учир нь хөлрсний дараа бүтээгдэхүүн бохирдох болно, ялангуяа натриас айдаг хагас дамжуулагч цехэд.Энэ төрлийн цех нь 25 хэмээс хэтрэхгүй байх ёстой.
Хэт их чийгшил нь илүү их асуудал үүсгэдэг.Харьцангуй чийгшил 55% -иас хэтрэх үед хөргөлтийн усны хоолойн хананд конденсац үүснэ.Хэрэв энэ нь нарийн төхөөрөмж эсвэл хэлхээнд тохиолдвол янз бүрийн осол үүсгэж болно.Харьцангуй чийгшил 50% байвал амархан зэвэрдэг.Түүнчлэн хэт өндөр чийгшилтэй үед цахиур хавтанцарын гадаргууд наалдсан тоос нь агаар дахь усны молекулуудаар дамжин гадаргуу дээр химийн аргаар шингэж, арилгахад хэцүү байдаг.
Харьцангуй чийгшил өндөр байх тусам наалдацыг арилгахад хэцүү болно.Гэсэн хэдий ч харьцангуй чийгшил 30% -иас доош байвал цахилгаан статик хүчний нөлөөгөөр тоосонцор нь гадаргуу дээр амархан шингэдэг бөгөөд олон тооны хагас дамжуулагч төхөөрөмж эвдэрч гэмтэх хандлагатай байдаг.Цахиур хавтан үйлдвэрлэх хамгийн оновчтой температурын хязгаар нь 35-45% байна.
Агаарын даралтхяналтцэвэрхэн өрөөнд
Ихэнх цэвэр орон зайн хувьд гадны бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд дотоод даралтыг (статик даралт) гаднах даралтаас (статик даралт) өндөр байлгах шаардлагатай байдаг.Даралтын зөрүүг хадгалах нь ерөнхийдөө дараах зарчмуудыг баримтлах ёстой.
1. Цэвэр орон зай дахь даралт нь цэвэр бус орон зайн даралтаас өндөр байх ёстой.
2. Цэвэрлэгээний түвшин өндөртэй орон зайн даралт нь бага зэрэгтэй зэргэлдээх талбайн даралтаас өндөр байх ёстой.
3. Цэвэр өрөөнүүдийн хоорондох хаалгыг өндөр цэвэршилттэй өрөө рүү нээх хэрэгтэй.
Даралтын зөрүүг хадгалах нь цэвэр агаарын хэмжээнээс хамаардаг бөгөөд энэ нь даралтын зөрүүгээс үүссэн агаарын алдагдлыг нөхөх чадвартай байх ёстой.Тиймээс даралтын зөрүүгийн физик утга нь цэвэр өрөөнд янз бүрийн цоорхойгоор дамжин урсах (эсвэл нэвчилт) агаарын урсгалын эсэргүүцэл юм.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 7-р сарын 21