Чип үйлдвэрлэлийн салбарт чипний гарц нь чип дээр хуримтлагдсан агаарын бөөмсийн хэмжээ, тоо хэмжээтэй нягт холбоотой байдаг. Агаарын урсгалын сайн зохион байгуулалт нь тоосны эх үүсвэрээс үүссэн бөөмсийг цэвэр өрөөнөөс холдуулж, цэвэр өрөөний цэвэр байдлыг хангаж чадна. Өөрөөр хэлбэл, цэвэр өрөөний агаарын урсгалын зохион байгуулалт нь чип үйлдвэрлэлийн гарцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Цэвэр өрөөний агаарын урсгалын зохион байгуулалтыг төлөвлөхөд хүрэх зорилго нь: хортой бөөмсийг хадгалахаас зайлсхийхийн тулд урсгалын талбай дахь хуйлралттай урсгалыг багасгах эсвэл арилгах; хөндлөн бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд зохих эерэг даралтын градиентийг хадгалах явдал юм.
Цэвэр өрөөний зарчмын дагуу бөөмс дээр үйлчилдэг хүчүүдэд массын хүч, молекулын хүч, бөөмсийн хоорондох таталцал, агаарын урсгалын хүч гэх мэт орно.
Агаарын урсгалын хүч: нийлүүлэлт ба буцах агаарын урсгал, дулааны конвекцийн агаарын урсгал, хиймэл хутгалт болон бусад тодорхой урсгалын хурдтай бөөмсийг зөөвөрлөх агаарын урсгалаас үүдэлтэй агаарын урсгалын хүчийг хэлнэ. Цэвэр өрөөний орчны технологийн хяналтын хувьд агаарын урсгалын хүч хамгийн чухал хүчин зүйл юм.
Агаарын урсгалын хөдөлгөөнд бөөмс агаарын урсгалыг бараг ижил хурдаар дагадаг болохыг туршилтууд харуулсан. Агаар дахь бөөмсийн төлөв байдлыг агаарын урсгалын тархалтаар тодорхойлдог. Агаарын урсгалын доторх бөөмсүүдэд үзүүлэх гол нөлөөнд: агаарын хангамжийн агаарын урсгал (анхдагч агаарын урсгал ба хоёрдогч агаарын урсгалыг оруулаад), хүмүүсийн алхахаас үүдэлтэй агаарын урсгал ба дулааны конвекцийн агаарын урсгал, мөн процессын үйл ажиллагаа болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжөөс үүдэлтэй бөөмсүүдэд агаарын урсгалын нөлөө орно. Цэвэр өрөөнд агаар хангамжийн янз бүрийн аргууд, хурдны интерфэйсүүд, операторууд болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, өдөөгдсөн үзэгдэл гэх мэт нь цэвэр байдлын түвшинд нөлөөлдөг хүчин зүйлүүд юм.
1. Агаарын хангамжийн аргын нөлөө
(1) Агаарын хангамжийн хурд
Агаарын жигд урсгалыг хангахын тулд нэг чиглэлтэй урсгалтай цэвэр өрөөнд агаарын хангамжийн хурд жигд байх ёстой; агаар хангамжийн гадаргуу дээрх үхмэл бүс бага байх ёстой; мөн HEPA шүүлтүүр доторх даралтын уналт мөн жигд байх ёстой.
Агаарын хангамжийн хурд жигд байна: өөрөөр хэлбэл агаарын урсгалын жигд бус байдлыг ±20% дотор хянадаг.
Агаар хангамжийн гадаргуу дээрх үхмэл зай багасдаг: зөвхөн HEPA хүрээний хавтгай талбайг багасгахаас гадна илүүдэл хүрээг хялбарчлахын тулд модульчлагдсан FFU ашиглах хэрэгтэй.
Агаарын урсгал босоо ба нэг чиглэлтэй байхын тулд шүүлтүүрийн даралтын уналтыг сонгох нь маш чухал бөгөөд шүүлтүүр доторх даралтын алдагдлыг нэг талыг барьсан байх ёсгүй.
(2) FFU систем болон тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системийн харьцуулалт
FFU нь сэнс болон HEPA шүүлтүүртэй агаар хангамжийн төхөөрөмж юм. FFU-ийн төвөөс зугтах сэнс агаарыг соруулж, динамик даралтыг агаарын сувгийн статик даралт болгон хувиргадаг. Үүнийг HEPA шүүлтүүр жигд үлээдэг. Тааз дээрх агаарын хангамжийн даралт нь сөрөг даралттай байдаг. Ингэснээр шүүлтүүрийг солих үед цэвэр өрөөнд тоос орохгүй. Туршилтаар FFU систем нь агаарын гаралтын жигд байдал, агаарын урсгалын параллелизм болон агааржуулалтын үр ашгийн индексийн хувьд тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системээс давуу болохыг харуулсан. Учир нь FFU системийн агаарын урсгалын параллелизм илүү сайн байдаг. FFU системийг ашиглах нь цэвэр өрөөнд агаарын урсгалын зохион байгуулалтыг сайжруулж чадна.
(3) FFU-ийн өөрийн бүтцийн нөлөө
FFU нь голчлон сэнс, шүүлтүүр, агаарын урсгалын хөтлөгч болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрдэнэ. HEPA шүүлтүүр нь дизайны шаардлагатай цэвэр байдлыг хангахын тулд өрөөг цэвэр байлгах хамгийн чухал баталгаа юм. Шүүлтүүрийн материал нь урсгалын талбайн жигд байдалд нөлөөлнө. Шүүлтүүрийн гаралтын хэсэгт барзгар шүүлтүүрийн материал эсвэл урсгалын хавтанг нэмэхэд гаралтын урсгалын талбайг амархан жигд болгож болно.
2. Хурдны интерфэйсийн цэвэр байдал өөр өөр байх нөлөө
Нэг цэвэр өрөөнд, босоо нэг чиглэлтэй урсгалтай ажлын хэсэг болон ажиллахгүй хэсгийн хооронд HEPA хайрцагны агаарын хурдны зөрүүнээс болж завсар хэсэгт холимог эргүүлэг үүсэх бөгөөд энэ завсар нь турбулент агаарын урсгалын бүс болно. Агаарын турбулент байдлын эрчим нь онцгой хүчтэй бөгөөд тоосонцор нь тоног төхөөрөмжийн машины гадаргуу руу дамжин тоног төхөөрөмж болон вафлиг бохирдуулж болзошгүй.
3. Ажилтан болон тоног төхөөрөмжид үзүүлэх нөлөөлөл
Цэвэр өрөө хоосон байх үед өрөөний агаарын урсгалын шинж чанар нь ерөнхийдөө дизайны шаардлагыг хангадаг. Тоног төхөөрөмж цэвэр өрөөнд орж, хүмүүс хөдөлж, бүтээгдэхүүн тээвэрлэгдэх үед агаарын урсгалын зохион байгуулалтад зайлшгүй саад тотгор учирдаг, тухайлбал тоног төхөөрөмжийн машинаас цухуйсан хурц үзүүрүүд. Булан эсвэл ирмэг дээр хий нь турбулент урсгалын хэсэг үүсгэхийн тулд чиглэлээ өөрчлөх бөгөөд тухайн хэсэгт байгаа шингэн нь орж ирж буй хийнд амархан автахгүй тул бохирдол үүсгэдэг.
Үүний зэрэгцээ механик тоног төхөөрөмжийн гадаргуу тасралтгүй ажилласнаас болж халж, температурын градиент нь машины ойролцоо дахин урсах талбай үүсгэж, дахин урсах талбайд бөөмсийн хуримтлалыг нэмэгдүүлдэг. Үүний зэрэгцээ өндөр температур нь бөөмсийг амархан гадагшлуулахад хүргэдэг. Давхар нөлөө нь нийт босоо давхаргыг эрчимжүүлдэг. Урсгалын цэвэр байдлыг хянах хэцүү. Цэвэр өрөөнд ажиллаж байгаа операторуудаас гарч буй тоос нь эдгээр дахин урсах талбайд вафлинд амархан наалддаг.
4. Буцаж буй агаарын шалны нөлөө
Шалнаас өнгөрч буй буцах агаарын эсэргүүцэл өөр байх үед даралтын зөрүү үүсч, агаар бага эсэргүүцлийн чиглэлд урсаж, жигд агаарын урсгал үүсэхгүй. Одоогийн түгээмэл дизайны арга бол өндөр шал ашиглах явдал юм. Өндөр шалны нээлтийн харьцаа 10% байх үед агаарын урсгалын хурдыг дотор ажлын өндөрт жигд хуваарилах боломжтой. Үүнээс гадна, шалан дээрх бохирдлын эх үүсвэрийг бууруулахын тулд цэвэрлэгээний ажилд онцгой анхаарал хандуулах хэрэгтэй.
5. Индукцийн үзэгдэл
Индукцийн үзэгдэл гэж нэрлэгддэг зүйл нь жигд урсгалын эсрэг чиглэлд агаарын урсгал үүсгэж, өрөөнд үүссэн тоос эсвэл салхины эсрэг талд зэргэлдээ бохирдсон хэсэгт тоос үүсгэж, улмаар тоос нь хавтанг бохирдуулах үзэгдлийг хэлнэ. Дараахь зүйлс өдөөгдөж болзошгүй үзэгдлүүд орно:
(1) Сохор хавтан
Босоо нэг чиглэлийн урсгалтай цэвэр өрөөнд ханан дээрх холбоосуудаас шалтгаалан ихэвчлэн том хэмжээтэй халхавчтай хавтангууд байдаг бөгөөд энэ нь турбулент урсгал болон орон нутгийн урвуу урсгалыг үүсгэдэг.
(2) Чийдэн
Цэвэр өрөөний гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл илүү их нөлөө үзүүлэх болно. Флюресцент чийдэнгийн дулаан нь агаарын урсгалыг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг тул флюресцент чийдэн нь турбулент бүс болж хувирдаггүй. Ерөнхийдөө цэвэр өрөөний чийдэнг агаарын урсгалын зохион байгуулалтад үзүүлэх нөлөөллийг бууруулахын тулд дусал хэлбэртэй хийдэг.
(3) Ханын хоорондох зай завсар
Цэвэрлэгээний шаардлага өөр өөр хуваалтын хана эсвэл таазны хооронд зай завсар байгаа тохиолдолд цэвэр байдлын шаардлага багатай хэсгүүдийн тоос нь өндөр цэвэр байдлын шаардлага өндөртэй зэргэлдээх хэсгүүд рүү шилжиж болно.
(4) Механик тоног төхөөрөмж болон шал эсвэл хананы хоорондох зай
Хэрэв механик тоног төхөөрөмж болон шал эсвэл хананы хоорондох зай бага байвал эргэн сэргэх турбулент байдал үүснэ. Тиймээс тоног төхөөрөмж болон хананы хооронд зай үлдээж, газартай шууд харьцахаас зайлсхийхийн тулд машины тавцанг өргөх хэрэгтэй.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 11-р сарын 2