Чипний үйлдвэрлэлийн салбар дахь чипний гарц нь чип дээр хуримтлагдсан агаарын тоосонцрын хэмжээ, тоотой нягт холбоотой байдаг.Агаарын урсгалыг сайн зохион байгуулснаар тоосны эх үүсвэрээс үүссэн тоосонцорыг цэвэр өрөөнөөс зайлуулж, цэвэр өрөөний цэвэр байдлыг хангах боломжтой.Өөрөөр хэлбэл, цэвэр өрөөн доторх агаарын урсгалын зохион байгуулалт нь чип үйлдвэрлэх гарцад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Цэвэр өрөөний агаарын урсгалын зохион байгуулалтыг төлөвлөхөд хүрэх зорилго нь: хортой тоосонцорыг хадгалахгүйн тулд урсгалын талбар дахь эргүүлэг гүйдлийг багасгах эсвэл арилгах;хөндлөн бохирдлоос сэргийлэхийн тулд зохих эерэг даралтын налууг хадгалах.
Цэвэр өрөөний зарчмын дагуу бөөмс дээр үйлчлэх хүч нь массын хүч, молекулын хүч, бөөмс хоорондын таталцал, агаарын урсгалын хүч гэх мэт орно.
Агаарын урсгалын хүч: нийлүүлэх болон буцах агаарын урсгал, дулааны конвекцийн агаарын урсгал, зохиомол хөдөлгөөн болон тоосонцорыг зөөх тодорхой урсгалын хурдтай бусад агаарын урсгалаас үүсэх агаарын урсгалын хүчийг хэлнэ.Цэвэр өрөөний орчны технологийн хяналтын хувьд агаарын урсгалын хүч нь хамгийн чухал хүчин зүйл юм.
Агаарын урсгалын хөдөлгөөнд тоосонцор агаарын урсгалыг бараг яг ижил хурдтайгаар дагадаг нь туршилтаар батлагдсан.Агаар дахь тоосонцрын төлөв байдлыг агаарын урсгалын тархалтаар тодорхойлно.Дотор хэсгүүдэд агаарын урсгалын гол нөлөөлөл нь: агаарын хангамжийн агаарын урсгал (анхны болон хоёрдогч агаарын урсгалыг оруулаад), хүмүүсийн алхаж буй агаарын урсгал ба дулааны конвекцийн агаарын урсгал, технологийн үйл ажиллагаа, үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжөөс үүссэн тоосонцор дахь агаарын урсгалын нөлөөлөл орно.Агаарын хангамжийн янз бүрийн аргууд, хурдны интерфэйсүүд, операторууд болон үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, цэвэрлэгээний өрөөнд үүссэн үзэгдлүүд гэх мэт бүх хүчин зүйлүүд нь цэвэр байдлын түвшинд нөлөөлдөг.
1. Агаарын хангамжийн аргын нөлөөлөл
(1) Агаарын хангамжийн хурд
Агаарын жигд урсгалыг хангахын тулд нэг чиглэлтэй урсгалтай цэвэр өрөөнд агаарын хангамжийн хурд жигд байх ёстой;агаарын хангамжийн гадаргуу дээрх үхсэн бүс нь бага байх ёстой;Гепа шүүлтүүр доторх даралтын уналт ч жигд байх ёстой.
Агаарын хангамжийн хурд жигд байна: өөрөөр хэлбэл агаарын урсгалын жигд бус байдлыг ±20% -ийн дотор хянадаг.
Агаарын хангамжийн гадаргуу дээр үхсэн зай бага байдаг: зөвхөн гепа хүрээний хавтгай талбайг багасгахаас гадна илүү чухал нь модульчлагдсан FFU нь илүүдэл хүрээг хялбарчлах хэрэгтэй.
Агаарын урсгалыг босоо, нэг чиглэлтэй байлгахын тулд шүүлтүүрийн даралтын уналтыг сонгох нь маш чухал бөгөөд шүүлтүүр доторх даралтын алдагдлыг хэвийх ёсгүй.
(2) FFU систем ба тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системийн харьцуулалт
FFU нь сэнс, гепа шүүлтүүр бүхий агаарын хангамжийн нэгж юм.Агаарыг FFU-ийн төвөөс зугтах сэнсээр соруулж, динамик даралтыг агаарын суваг дахь статик даралт болгон хувиргадаг.Энэ нь гепа шүүлтүүрээр жигд үлээдэг.Тааз дээрх агаарын хангамжийн даралт нь сөрөг даралт юм.Ингэснээр шүүлтүүрийг солих үед цэвэр өрөөнд тоос урсахгүй.Туршилтаар FFU систем нь агаарын гаралтын жигд байдал, агаарын урсгалын параллель байдал, агааржуулалтын үр ашгийн индексийн хувьд тэнхлэгийн урсгалын сэнсний системээс давуу болохыг харуулсан.Учир нь FFU системийн агаарын урсгалын параллелизм илүү сайн байдаг.FFU системийг ашиглах нь цэвэр өрөөнд агаарын урсгалын зохион байгуулалтыг сайжруулж чадна.
(3) FFU-ийн өөрийн бүтцийн нөлөө
FFU нь ихэвчлэн сэнс, шүүлтүүр, агаарын урсгалын хөтөч болон бусад бүрэлдэхүүн хэсгүүдээс бүрдэнэ.Гепа шүүлтүүр нь цэвэрхэн өрөөнд дизайнд шаардагдах цэвэр байдлыг хангах хамгийн чухал баталгаа юм.Шүүлтүүрийн материал нь урсгалын талбайн жигд байдалд нөлөөлнө.Шүүлтүүрийн гаралтын хэсэгт барзгар шүүлтүүр материал эсвэл урсгалын хавтанг нэмэхэд гаралтын урсгалын талбарыг хялбархан жигд болгож болно.
2. Янз бүрийн цэвэршилттэй хурдны интерфейсийн нөлөө
Нэг цэвэрхэн өрөөнд босоо нэг чиглэлтэй урсгалтай ажлын талбай ба ажлын бус талбайн хооронд гепа хайрцаг дахь агаарын хурдны зөрүүгээс болж интерфэйс дээр холимог эргүүлэг үүсэх бөгөөд энэ интерфейс нь турбулент болно. агаарын урсгалын бүс.Агаарын үймээн самууны эрч хүч онцгой хүчтэй бөгөөд тоосонцор нь төхөөрөмжийн машины гадаргуу руу дамжиж, тоног төхөөрөмж, ялтсуудыг бохирдуулж болзошгүй.
3. Ажилтан болон тоног төхөөрөмжид үзүүлэх нөлөө
Цэвэр өрөө хоосон байх үед өрөөний агаарын урсгалын шинж чанар нь ерөнхийдөө дизайны шаардлагад нийцдэг.Тоног төхөөрөмж цэвэрхэн өрөөнд орж, хүмүүс хөдөлж, бүтээгдэхүүн тээвэрлэж эхэлмэгц агаарын урсгалын зохион байгуулалтад тоног төхөөрөмжийн машинаас хурц үзүүрүүд цухуйх зэрэг саад бэрхшээлүүд зайлшгүй гардаг.Булан эсвэл ирмэг дээр хий нь эргэлдэж буй урсгалын талбайг үүсгэх бөгөөд тухайн хэсэгт байгаа шингэн нь орж ирж буй хийд амархан зөөгдөж, бохирдол үүсгэдэг.
Үүний зэрэгцээ механик тоног төхөөрөмжийн гадаргуу нь тасралтгүй ажилласнаар халах бөгөөд температурын градиент нь машины ойролцоо дахин урсах талбайг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь дахин урсгалын талбайд бөөмсийн хуримтлалыг нэмэгдүүлдэг.Үүний зэрэгцээ өндөр температур нь бөөмсийг амархан гадагшлуулах болно.Давхар нөлөө нь ерөнхий босоо давхаргыг эрчимжүүлдэг.Урсгалын цэвэр байдлыг хянахад бэрхшээлтэй.Цэвэрхэн өрөөнд байгаа операторуудын тоос нь эдгээр дахин урсах хэсгүүдэд ялтсанд амархан наалддаг.
4. Буцах агаарын шалны нөлөөлөл
Шалаар дамжин өнгөрөх буцах агаарын эсэргүүцэл өөр байх үед даралтын зөрүү үүсч, бага эсэргүүцэлтэй чиглэлд агаар урсаж, жигд агаарын урсгалыг олж авахгүй.Одоогийн алдартай дизайны арга бол өндөр шалыг ашиглах явдал юм.Өргөгдсөн давхрын нээлтийн харьцаа 10% байх үед агаарын урсгалын хурдыг дотоод ажлын өндөрт жигд хуваарилах боломжтой.Үүнээс гадна шалан дээрх бохирдлын эх үүсвэрийг багасгахын тулд цэвэрлэгээний ажилд онцгой анхаарал хандуулах хэрэгтэй.
5. Индукцийн үзэгдэл
Индукцийн үзэгдэл гэж нэрлэгддэг үзэгдэл нь жигд урсгалын эсрэг чиглэлд агаарын урсгал үүсгэж, өрөөнд үүссэн тоос, эсвэл зэргэлдээх бохирдсон хэсгүүдийн тоосыг салхины эсрэг тал руу өдөөж, улмаар тоос шороо нь өрөмийг бохирдуулах үзэгдлийг хэлдэг.Боломжит өдөөгдсөн үзэгдлүүд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
(1) Сохор хавтан
Босоо нэг талын урсгалтай цэвэрхэн өрөөнд ханан дээрх холбоосын улмаас ерөнхийдөө том сохор хавтангууд байдаг бөгөөд энэ нь турбулент урсгал болон орон нутгийн буцах урсгалыг үүсгэдэг.
(2) Дэнлүү
Цэвэр өрөөнд гэрэлтүүлгийн хэрэгсэл илүү их нөлөөлнө.Флюресцент чийдэнгийн дулаан нь агаарын урсгалыг нэмэгдүүлэхэд хүргэдэг тул флюресцент чийдэн нь үймээн самуунтай газар болохгүй.Ерөнхийдөө цэвэр өрөөнд чийдэнгүүд нь агаарын урсгалын зохион байгуулалтад үзүүлэх нөлөөллийг багасгахын тулд дусал дусал хэлбэрээр хийгдсэн байдаг.
(3) Хананы хоорондох зай
Янз бүрийн цэвэр байдлын шаардлага бүхий тусгаарлах хана эсвэл таазны хооронд зай завсар байгаа тохиолдолд цэвэршилт багатай талбайн тоосыг өндөр цэвэршилттэй зэргэлдээх хэсгүүдэд шилжүүлж болно.
(4) Механик төхөөрөмж ба шал эсвэл хананы хоорондох зай
Хэрэв механик төхөөрөмж ба шал эсвэл хананы хоорондох зай бага байвал буцах үймээн үүснэ.Тиймээс, тоног төхөөрөмж болон хананы хоорондох зайг үлдээж, газартай шууд харьцахаас зайлсхийхийн тулд машины тавцанг дээшлүүлнэ.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 11-р сарын 02-ны өдөр